工业冷水机在单晶炉工艺冷却工程中的应用

      工业冷水机不仅在生产制造行业中应用广泛，也在国内科研机构及国家重点工业学校有着长期的应用，如应用在单晶炉冷却工程中，航空航天材料的生产中也是常见的冷却设备之一；

      我们知道，单晶炉是一种生产单体硅的设备，内部结构极为复杂。而单晶硅的生产对环境要求极为苛刻，比如，炉体温度，炉体因温度过高会产生形变，势必影响设备尺寸变化，造成不合格产品的出现；同时炉体材料长期高温工作，冷热不均会降低炉体寿命，造成损失。

      这就需要专业稳定的冷却水系统，来满足单晶炉的降温冷却需求，才能维持炉体设备正常工作，不至于发生因炉体设备温度过高，造成设备变形，影响硅晶体的生长。

单晶炉的制冷方案中包括两大控制系统，即工艺冷却水控制系统和冷媒控制系统。

工艺冷却水控制系统可为单晶炉炉体及加热电极、真空泵降温冷却，由冷水机组、工艺水池、冷却水泵、冷却管路及热交换器组成。

      冷水机组温度范围可降低到20-25度，机组将冷却水从循环水泵输送到工艺冷却水池，再由水泵输送进冷却通路为炉体发热部件循环降温，可实现不同负荷下的制冷模式，最大化稳定工艺冷水控制系统。

      在冷媒控制系统中，冷水机内部气态冷媒由压缩机压缩，进入冷凝器液化，再由膨胀阀装置变成低温气液混相，在蒸发器内，实现与工艺冷却水系统热交换器换热，达到工艺水池的需求温度。冷媒控制系统中，因单晶炉工艺水池特殊水质要求，采用全不锈钢蒸发器要求，避免因水质问题污染工艺水池的冷却水，给单晶炉冷却造成不利影响。

     在整个冷却水系统设计中，冷水机组电控系统使用进口PC／PLC可编程控制器，由人机界面触摸操作，实时观察系统运行的参数，并且可简单直观输入各种初始参数，例如工艺冷却温度上下限报警值、水位上限限值、出水温度上下限值、冷却水压力上下限值等。

   值得一提的是，因单晶炉对水质、水压及流速的特殊要求，需采用高扬程水泵，保证稳定充足的冷却水供应工艺冷却水系统.避免冷却水供应不及时造成炉体加热器跳闸、中止单晶炉正常运转，而造成劣等晶体的产生，炉体内部因冷却不到位发生形变等危害人身及设备安全。

   冷水机应用在单晶炉上面降温使用，还应用在烧结炉、结晶炉、铸锭炉等不同生产设备的降温冷却，可提供大、中小制冷工程解决方案，非标定制工业及科研使用的冷水机组，在半导体、化工、新能源、制药、微电子行业领域应用广泛。